光學(xué)微電子無塵車間建設(shè)是指在光學(xué)微電子生產(chǎn)過程中，為了保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，采取一系列措施建設(shè)無塵車間。無塵車間是指在車間內(nèi)控制空氣中的粉塵、微生物、細(xì)菌等微小顆粒物的濃度，使其達(dá)到一定的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，從而保證生產(chǎn)過程的潔凈和產(chǎn)品的質(zhì)量。